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Product Center瑞士VAT阀VAT角阀、内联式或圆柱式真空阀 角阀、内联式或圆柱式真空阀 用于泵送系统、工艺或排气应用的通用真空阀。是在苛刻的安装环境下进行真空隔离或控制的理想选择。带有增值税波纹管,适用于UHV。
瑞士VAT阀VAT 21.4 迷你角阀/内联阀 21.4 迷你角阀/内联阀 在无压缩空气的情况下为密封或排气提供出色可靠性
瑞士VAT阀24.2 带密封保护系统的角阀 24.2 带密封保护系统的角阀 为远程等离子清洁应用树立耐用性新标准
瑞士VAT真空摆阀 特殊类别的隔离控制阀,其中的真空门通过旋转运动移出开口截面。通过非常精细的传导控制,是工艺室中下游压力控制的标准解决方案。特点是。设计紧凑,振动小,开启和关闭平稳,避免了过程中的颗粒。
瑞士VAT阀3位置真空阀 功能介于隔离阀和控制阀之间。除了打开和关闭的位置外,这些阀门还有第三个确定的可调整的阀门位置。这个闸门位置通常被设计成 “光学关闭“,也可以实现 “待机 “功能,或在减少传导的情况下实现更平滑的开启,例如,避免压力峰值。
瑞士VAT阀67.0 对称控制阀 67.0 系列专为半导体生产中的腐蚀性蚀刻和清洁工艺而设计,可用作下游控制和隔离阀。
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